Аннотация:
Методом сканирующего электронно-лучевого распыления пирографита (мишени) в безмасляном вакууме (10${}^{-5}$ мм рт. ст.) получена серия тонкоплёночных образцов углерода на стекле. Приведены измерения оптических и электрических свойств серии образцов в зависимости от толщины плёнок. На основании полученных экспериментальных зависимостей оптических и электрических свойств от толщины плёночных образцов выявлены две доминирующие стадии роста плёнок: послойный до 9 слоёв графена и поликристаллические плёнки с чешуйчатой структурой при дальнейшей конденсации.