Аннотация:
В работе рассмотрены особенности образования кластеров на поверхности полупроводников группы А3В5 при электрохимической обработке. Механизм данного явления описан с точки зрения когерентных явлений в стохастических системах.
Ключевые слова:полупроводники, электрохимическое травление, кластеры, поры, стохастические системы, когерентные явления.
Полный текст:
PDF файл (286 kB)