RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Компьютерная оптика // Архив

Компьютерная оптика, 2023, том 47, выпуск 2, страницы 235–245 (Mi co1122)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент

В. П. Кирьяновa, Н. А. Гуринab

a Институт автоматики и электрометрии СО РАН, г. Новосибирск
b АО «Новосибирский приборостроительный завод», 630049, Россия, г. Новосибирск, ул. Дуси Ковальчук, д. 179/2

Аннотация: Проведён краткий обзор методов повышения дифракционной эффективности оптических элементов, синтезированных путём прямой лазерной записи. Отмечено, что предложенные ранее методы записи топологии подобных элементов с применением объёмных или поверхностных контурных масок не обеспечивают окончательного решения проблемы повышения дифракционной эффективности. Выполненные модельные и натурные эксперименты по формированию структур рельефно-фазовых оптических элементов путём записи профилей зон с помощью наклонных лазерных пучков показали принципиальную возможность формирования отвесных склонов обратных скатов зон и целесообразность развития данной технологии на основе лазерных генераторов изображений.

Ключевые слова: дифракционные оптические элементы, дифракционная эффективность, прямая лазерная запись, оптические технологии

Поступила в редакцию: 26.05.2022
Принята в печать: 13.07.2022

DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1161



© МИАН, 2024