Контроль пространственного распределения оптического излучения, рассеянного дифракционной структурой

Представлены результаты разработки и исследования метода и устройства для оперативного контроля пространственного распределения интенсивности дифракционных порядков в телесном угле дифракции до $\pm80^\circ$ и $360^\circ$ по азимуту как на проход, так и на отражение. Разработанное устройство предназначено для контроля формы и глубины микрорельефа дифракционных оптических элементов в процессе производства.