Поверхностная модификация кварцевого стекла импульсами пикосекундного лазера

Описан экспериментальный стенд для исследования процессов прямого формирования микро- и наноструктур на поверхности кварцевого оптического стекла импульсами пикосекундного ультрафиолетового лазера. Предложен метод контроля абляции на основе датчика Шека–Гартмана. Синтезированы кратеры испарения на поверхности кварца глубиной от $23 \pm 4 нм$ до $144 \pm 18 нм$ с хорошим качеством края при плотностях мощности от $0,57 \times 1012$ Вт/см$^2$ до $31 \times 1012$ Вт/см$^2$ соответственно. Более интенсивные режимы лазерной обработки приводят к образованию трещин и сколов на поверхности материала, менее интенсивные – к появлению каёмок плавления. Проведено исследование полученных структур с помощью атомно-силового микроскопа. Установлена скорость абляции кварцевого стекла при обработке импульсами пикосекундной длительности.