ХИМИЯ

Фазовый состав аморфных пленок, полученных конденсацией паров при нагреве в вакууме смеси двуокиси кремния и кремния

Т. А. Фадеева, З. П. Пашева


УДК: 539.235

Статья представлена к публикации: Н. В. Белов
Поступило: 13.04.1965