ФИЗИКА

Влияние каналирования на распределение электрически активных атомов бора и фосфора, внедренных в монокристаллы кремния

В. М. Гусев, Н. П. Бушаров, К. Д. Демаков, Ю. Г. Козлов

Институт атомной энергии им. И. В. Курчатова

УДК: 539.2

Статья представлена к публикации: Л. А. Арцимович
Поступило: 20.07.1970