ФИЗИКА

Масс-спектрометрические исследования условий образования аморфных пленок полупроводников при конденсации из паровой фазы

В. П. Захаров, И. М. Протас

Киевский научно-исследовательский институт микроприборов

Статья представлена к публикации: Б. Е. Патон
Поступило: 11.05.1973