Эта публикация цитируется в 2 статьях

ФИЗИКА

О возможности реализации проекционной рентгеновской литографии

А. В. Виноградов, Н. Н. Зорев

Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, г. Москва

УДК: 535.88:537.531

Статья представлена к публикации: Н. Г. Басов
Поступило: 27.05.1987