ФИЗИКА

Точное решение обратной задачи эллипсометрии для поглощающих пленок

С. Н. Свиташева

Институт физики полупроводников СО АН СССР, г. Новосибирск

УДК: 535.39

Статья представлена к публикации: А. В. Ржанов
Поступило: 11.01.1991