Аннотация:
Исследована возможность реализации режима самораспространяющегося горения газовой смеси SiH$_4$–NH$_3$–О$_2$ и SiH$_4$–2 при содержании кислорода 0–2%. Расчет равновесного состава указывает на возможность образования целевых продуктов – Si, Si$_3$N$_4$. Экспериментально установлено, что распространение фронта химической реакции в самоподдерживающемся режиме с образованием указанных выше продуктов протекает только при наличии кислорода. Показано, что химическая индукция, приводящая к расходованию до 60% начального моносилана, имеет цепную природу.
