Исследование природы микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния

Представлены резулыаты исследования физической природы микродефектов, образующихся при выращивании бездислокационных монокристаллов кремния. Установлено, что $A$-, $B$-, $C$-, $D$-микродефекты вызывают в кристаллической решетке кремния деформацию сжатия, т. е. являются дефектами межузельного типа. При высоких скоростях выращивания (${V_{p}> 6}$ мм/мин, диаметр кристаллов 26$-$28 мм) в бездислокационных монокристаллах кремния обнаружены микродефекты вакансионного типа, которые сосуществуют совместно с микродефектами межузельного типа.