Поля напряжений и дифракционный контраст стержнеобразных дефектов в кремнии

Рассматривается электронно-микроскопический контраст от стержнеобразных дефектов, возникающих в кислородосодержащем кремнии после низкотемпературного отжига. При помощи дислокационных решений теории упругости построены модели дефекта и произведен расчет интенсивности рассеяния в случае двухволновой динамической дифракции электронов. Результаты представлены в виде теоретических электронно-микроскопических изображений, которые сопоставляются с экспериментальными микрофотографиями. Расчетный контраст для одной из предложенных упругих моделей оказывается достаточно близким к экспериментальному, что позволяет сделать предположение о взаимной ориентации решеток матрицы и включения.