Влияние термообработки и металлизации поверхности на процесс открепления дислокаций от примесных центров в кристаллах кремния

Исследовано изменение динамического поведения дислокаций под влиянием термообработки образцов кремния и металлизации их поверхности. Определенные в работе параметры открепления дислокаций от центров их закрепления (энергия и активационный объем процесса открепления) свидетельствуют о том, что нанесение твердотельных покрытий на поверхность образцов кремния с введенными дислокационными петлями, а также дополнительная высокотемпературная термообработка образцов сопровождаются формированием вокруг дислокаций атмосфер комплексных дефектов, которые в значительной степени влияют на кинетику срыва дислокаций со стартовых положений и динамику их последующего движения.