Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
Аннотация:
С помощью кластерного расширения метода Хюккеля с самосогласованием по зарядам исследовано влияние границ зерен на электронную структуру кремния. Выделены границы зерен, вносящие искажения в электронную структуру материала и электрически пассивные границы. В качестве модели атомной структуры границ зерен использовались данные машинного моделирования. По результатам исследования делается вывод о корреляции степени искажения электронной структуры, вносимого границами зерен, с величиной зернограничной энергии и о немонотонности ее зависимости от значения обратной плотности совпадающих узлов.
УДК:
620.018;669.018
Поступила в редакцию: 22.11.1988 Исправленный вариант: 21.03.1989