Зависимость коэффициента диффузии от концентрации для системы взаимодействующих дефектов в твердом теле

Рассматривается вывод кинетического уравнения и соотношений для кинетических коэффициентов, описывающих диффузию взаимодействующих точечных дефектов в твердом теле. Для случая примеси внедрения в области невысокой концентрации последней получены явные выражения для концентрационной зависимости коэффициентов диффузии: термодинамического (химического) ${D=D_{0} (1+(2a+b) c)}$ и одночастичного (изоконцентрационного) ${D_{1}=D_{0} (1+ac)}$, где $c$ —- концентрация примеси, константы $a$ и $b$ определяются потенциалом взаимодействия частиц. Конкретные расчеты проведены для системы заряженных примесей в полупроводниках. Проведено сравнение микроскопического подхода и подхода в рамках неравновесной термодинамики.