Исследование взаимодействия ионов аргона средних энергий с поверхностью GaP(111)B

Методами спектроскопии потенциалов исчезновения Оже- и ионизационной спектроскопии исследовался процесс разупорядочения поверхности GaP(111)В ионами аргона с энергией ${100\div3000}$ эВ.
Анализ зависимости сечения дефектообразования от энергии ионов и изменения Оже-спектров фосфора и галлия при ионном облучении GaP(111)B позволяет сделать вывод, что процесс разупорядочения представляет собой каскадный процесс и в значительной мере обусловлен образованием вакансий атомов фосфора.
Методом ионизационной спектроскопии исследовалось изменение спектра свободных состояний при облучении поверхности ионами аргона.