Аннотация:
Исследованы спектры ЭПР азота в 4$H$SiC с концентрацией азота от $10^{16}$ до $10^{19}$ см$^{-3}$ на частоте $\nu=142$ ГГц при $T=4.2\div 24$ K. Определены параметры спектров ЭПР от двух неэквивалентных позиций азота в 4$H$SiC при ($N_{D}-N_{A}) \sim 10^{16}$ см$^{-3}$. Исследована динамика температурного изменения спектра ЭПР азота в образцах 4$H$SiC с концентрацией от $5\cdot 10^{17}$ до $10^{19}$ см$^{-3}$. Установлено, что механизмом делокализации электронов в SiC с повышенной концентрацией доноров является прыжковый обмен донорным электроном между атомами азота в гексагональной (г) и кубической (к) позициях. Сравнение теории с экспериментом показало, что температурная зависимость скорости прыжкового обмена подчиняется закону $\exp (-(T_{0}/T)^{1/4}$).