Коэситная природа стержнеобразных дефектов в выращенном по Чохральскому и отожженном кремнии

Сопоставляются две континуальные модели стержнеобразного дефекта (СД), возникающего в процессе преципитации кислорода при низкотемпературном отжиге ($T=750^{\circ}$С) выращенных по Чохральскому кристаллов кремния. С этой целью сравниваются расчетные и экспериментальные электронно-микроскопические изображения СД. В обеих моделях реализовано предположение о том, что дефект является включением в алмазной решетке коэсита — фазы высокого давления SiO$_{2}$. Основной вывод работы — в состав СД должна входить не только кристаллическая, но и аморфная фаза SiO$_{2}$ — получен при согласовании размеров дефекта (из эксперимента) с теоретической оценкой, которую дает условие стабильности фазы коэсита при фиксированном несоответствии решеток матрицы и включения. Для одной из моделей удается достигнуть удовлетворительного совпадения с экспериментом.