Аннотация:
Исследовано влияние кислорода и паров воды в распылительной камере в процессе осаждения тонкопленочных нанокомпозитов (Co$_{40}$Fe$_{40}$B$_{20}$)$_{x}$(LiNbO$_{3}$)$_{100-x}$ на их электрические свойства. Установлено существенное увеличение удельного электрического сопротивления нанокомпозитов (Co$_{40}$Fe$_{40}$B$_{20}$)$_{x}$(LiNbO$_{3}$)$_{100-x}$ с увеличением парциального давления реактивных газов: кислорода и паров воды. Обнаружено увеличение температуры рекристаллизации синтезированных в атмосфере аргона композитов с ростом концентрации металлической фазы. Температура рекристаллизации нанокомпозитов (Co$_{40}$Fe$_{40}$B$_{20}$)$_{x}$(LiNbO$_{3}$)$_{100-x}$, полученных в смешанной атмосфере аргона с реактивными газами (кислорода или паров воды) уменьшается вследствие увеличения степени окисления гетерогенной структуры.
Ключевые слова:нанокомпозиты металл-диэлектрик, электрическое сопротивление, термическая устойчивость, фазовый состав, кислород, пары воды.
Поступила в редакцию: 27.05.2021 Исправленный вариант: 17.07.2021 Принята в печать: 19.07.2021