RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 2021, том 63, выпуск 8, страницы 1166–1171 (Mi ftt8079)

Физика поверхности, тонкие пленки

Электронная структура термически окисленного вольфрама

П. А. Дементьевa, Е. В. Дементьеваa, М. Н. Лапушкинa, Д. А. Смирновb, С. Н. Тимошневc

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
b Institut für Festkörper- und Materialphysik, Technische Universität Dresden, Dresden, Germany
c Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: С помощью метода фотоэлектронной спектроскопии проведены исследования in situ в сверхвысоком вакууме электронной структуры чистой поверхности вольфрама, окисленного при давлении кислорода 1 Torr и температуре 1000 K. Изучены спектры фотоэмиссии из валентной зоны и остовных уровней O 1$s$, O 2$s$, W 4$f$ при синхротронном возбуждении в диапазоне энергий фотонов 80–600 eV. Найдено, что формируется полупроводниковая пленка окисла вольфрама, которая содержит различные окислы вольфрама со степенью окисления от 6+ до 4+. На поверхности образуются в основном окислы вольфрама со степенью окисления 6+, доля которых постепенно уменьшается по мере удаления от поверхности с увеличением окислов вольфрама со степенью окисления 4+.

Ключевые слова: окисление вольфрама, фотоэлектронная спектроскопия.

Поступила в редакцию: 25.03.2021
Исправленный вариант: 30.03.2021
Принята в печать: 30.03.2021

DOI: 10.21883/FTT.2021.08.51173.065


 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2021, 63, 1153–1158

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024