RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 2021, том 63, выпуск 8, страницы 1166–1171 (Mi ftt8079)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Физика поверхности, тонкие пленки

Электронная структура термически окисленного вольфрама

П. А. Дементьевa, Е. В. Дементьеваa, М. Н. Лапушкинa, Д. А. Смирновb, С. Н. Тимошневc

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
b Institut für Festkörper- und Materialphysik, Technische Universität Dresden, Dresden, Germany
c Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: С помощью метода фотоэлектронной спектроскопии проведены исследования in situ в сверхвысоком вакууме электронной структуры чистой поверхности вольфрама, окисленного при давлении кислорода 1 Torr и температуре 1000 K. Изучены спектры фотоэмиссии из валентной зоны и остовных уровней O 1$s$, O 2$s$, W 4$f$ при синхротронном возбуждении в диапазоне энергий фотонов 80–600 eV. Найдено, что формируется полупроводниковая пленка окисла вольфрама, которая содержит различные окислы вольфрама со степенью окисления от 6+ до 4+. На поверхности образуются в основном окислы вольфрама со степенью окисления 6+, доля которых постепенно уменьшается по мере удаления от поверхности с увеличением окислов вольфрама со степенью окисления 4+.

Ключевые слова: окисление вольфрама, фотоэлектронная спектроскопия.

Поступила в редакцию: 25.03.2021
Исправленный вариант: 30.03.2021
Принята в печать: 30.03.2021

DOI: 10.21883/FTT.2021.08.51173.065


 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2021, 63, 1153–1158

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025