Аннотация:
Проведены исследования проводимости вдоль границы раздела двух диэлектрических пленок субмикронной толщины. Представлены результаты сравнительного исследования электрофизических свойств отдельных пленок. В качестве диэлектрического материала был использован коммерческий полимер – полиметилметакрилат. Исследования проводились по двухзондовой схеме методом вольт-амперных характеристик. Обнаружено аномальное по отношению к объемной увеличение проводимости. Установлено, что увеличение проводимости связано с возрастанием подвижности носителей заряда вдоль границы раздела до 140 cm$^{2}$/V$\cdot$s. Проведено сравнение с известными из литературы аналогами, подчеркивается необходимость дополнительного анализа свойств контакта трехмерная/двумерная область.
Ключевые слова:полиметилметакрилат, диэлектрические пленки, граница раздела, подвижность.
Поступила в редакцию: 21.12.2020 Исправленный вариант: 23.12.2020 Принята в печать: 23.12.2020