Формирование силицидов железа под графеном, выращенным на поверхности карбида кремния

Исследован процесс формирования тонких пленок силицидов железа под графеном, выращенным на поверхности карбида кремния, путем последовательного интеркалирования графена атомами железа и кремния. Эксперименты проводились in situ в условиях сверхвысокого вакуума. Элементный состав и химическое состояние поверхности образцов, а также их атомная структура контролировались с помощью фотоэлектронной спектроскопии высокого энергетического разрешения с использованием синхротронного излучения и дифракции медленных электронов. Толщина нанесенных слоев железа и кремния варьировалась в диапазоне 0.1–2 nm, а температура отжига образцов изменялась от комнатной до 600$^\circ$С. Показано, что интеркалирование системы графен/Fe/SiC кремнием приводит к образованию слоя твердого раствора Fe-Si, покрытого поверхностным силицидом Fe$_{3}$Si. Полученные пленки надежно защищены графеном от воздействия окружающей среды, что открывает возможности для их практического применения.