Влияние структурных свойств на электросопротивление тонких пленок Al/Ag в процессе твердофазной реакции

На основании результатов исследования процессов твердофазной реакции в тонких пленках Al/Ag (атомное соотношение Al : Ag = 1 : 3) методами in situ дифракции электронов и измерения величины удельного электросопротивления установлена температура начала реакции, а также предложена модель структурных фазовых переходов. Твердофазная реакция начинается при 70$^\circ$C с образования твердого раствора Al-Ag на границе раздела нанослоев алюминия и серебра. Установлено, что в процессе реакции последовательно формируются интерметаллические соединения $\gamma$-Ag$_{2}$Al $\to$ $\mu$-Ag$_{3}$Al. Показано, что возможность формирования фазы $\mu$-Ag$_{3}$Al при твердофазной реакции в тонких пленках Al/Ag зависит от соотношения алюминия и серебра, при этом формирование фазы $\mu$-Ag$_{3}$Al начинается только после того как весь ГЦК-алюминий прореагирует.