И. П. Пронин, Е. Ю. Каптелов, С. В. Сенкевич, Д. А. Киселев, В. В. Осипов, В. П. Пронин, “Морфология поверхности, микроструктура и пьезоэлектрический отклик перовскитовых островков в тонких пленках цирконата-титаната свинца”, Физика твердого тела, 2019, том 61, выпуск 12,страницы 2369

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Международная конференция ''Механизмы и нелинейные проблемы нуклеации, роста кристаллов и тонких пленок'' , посвященная памяти выдающегося физика-теоретика профессора В. В. Слезова (Сборник трудов) Санкт-Петербург, 1-5 июля 2019 г.
Сегнетоэлектричество

Морфология поверхности, микроструктура и пьезоэлектрический отклик перовскитовых островков в тонких пленках цирконата-титаната свинца

И. П. Пронин^ab, Е. Ю. Каптелов^ab, С. В. Сенкевич^ab, Д. А. Киселев^bc, В. В. Осипов^a, В. П. Пронин^b

^a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^b Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена, г. Санкт-Петербург
^c Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", г. Москва

Аннотация: Исследованы особенности микроструктуры и пьезоэлектрического отклика перовскитовых островков в матрице пирохлорной фазы в тонких пленках цирконата-титаната свинца, сформированных методом высокочастотного магнетронного распыления. Выявлена радиальная неоднородность морфологии поверхности островков и пьезоотклика. Обсуждается роль двумерных механических напряжений, действующих на тонкую пленку со стороны кремниевой подложки.

Ключевые слова: высокочастотное магнетронное распыление, тонкие пленки цирконата-титаната свинца, перовскитовые островки, силовая микроскопия пьезоотклика.

Поступила в редакцию: 16.07.2019
Исправленный вариант: 16.07.2019
Принята в печать: 25.07.2019

DOI: 10.21883/FTT.2019.12.48556.13ks