Ионно-пучковые и рентгеновские методы элементной диагностики тонкопленочных покрытий

Показано, как совместное использование методов резерфордовского обратного рассеяния ионов, рентгенофлуоресцентного анализа в условиях полного внешнего отражении потока возбуждающего жесткого рентгеновского излучения и регистрации выхода рентгеновского излучения при ионном возбуждении позволяет эффективно диагностировать элементный состав тонкопленочных покрытий и пленок сухих остатков жидкостей. Представлена краткая характеристика этих методов и особенностей их экспериментального применения. Приведены примеры комплексного методического анализа реальных объектов. Указано на возможность повышения эффективности методов рентгенофлуоресцентного анализа материалов за счет включения в рентгенооптические схемы экспериментальных измерений плоских рентгеновских волноводов-резонаторов.