Влияние энергии ионной стимуляции на удельное электросопротивление углеродных пленок, полученных методом импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота

Исследованы тонкие углеродные пленки, полученные методом импульсно-плазменного ионно-стимулированного распыления графита в атмосфере смеси аргона и азота. Результаты спектроскопии характеристических потерь энергии электронов и электронной дифракции свидетельствуют о росте графитовой составляющей при увеличении энергии ионной стимуляции. Применение ионной стимуляции в процессе напыления пленок позволяет управлять их удельным сопротивлением, изменяя его от 10$^{5}$ до 10$^{2}$ $\Omega$ $\cdot$ cm.