RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 2019, том 61, выпуск 10, страницы 1916–1925 (Mi ftt8676)

Эта публикация цитируется в 6 статьях

Фазовые переходы

Моделирование смачивающих фазовых переходов в тонких пленках

П. Е. Львовab, В. В. Светухинc, С. В. Булярскийb, А. А. Павловb

a Ульяновский государственный университет
b Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Москва, Россия
c Научно-производственный комплекс "Технологический Центр", Москва, Зеленоград, Россия

Аннотация: На основе гидродинамической модели проведен анализ кинетики смачивающих фазовых переходов в пленках жидкости наноразмерной толщины, находящихся на поверхности подложки. В области метастабильных состояний исследованы закономерности формирования равновесных кластеров и рассчитаны соответствующие распределения толщины пленки. В области нестабильных состояний выполнен анализ кинетики фазового перехода, приводящего к образованию кластеров. На ранней стадии происходит формирование участков в виде лунок с толщиной пленки близкой к равновесной. Слияние лунок между собой приводит к перераспределению вещества в пленке и последующему формированию кластеров. Для данного процесса рассчитана кинетика среднего размера и концентрации лунок. Для образующихся кластеров исследована кинетика среднего радиуса, средней высоты, концентрации, а также их функции распределения по радиусу и высоте.

Ключевые слова: фазовые переходы смачивания, моделирование, кинетика, тонкие пленки.

Поступила в редакцию: 23.04.2019
Исправленный вариант: 29.05.2019
Принята в печать: 29.05.2019

DOI: 10.21883/FTT.2019.10.48270.465


 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2019, 61:10, 1872–1881

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024