RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 2019, том 61, выпуск 8, страницы 1443–1447 (Mi ftt8722)

Полупроводники

Пути политипных превращений в карбиде кремния

С. А. Кукушкинabc, А. В. Осиповb

a Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
c Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого

Аннотация: Методами ab initio изучены два основных политипных превращения в карбиде кремния, а именно, $2H\to6H$ и $3C\to6H$. Показано, что промежуточные фазы с тригональной симметрией $P3m1$ и моноклинной симметрией $Cm$ сильно облегчают перемещения плотноупакованных слоев при таких переходах, разбивая их на отдельные стадии. Обнаружено, что два данных политипных превращения протекают совершенно по-разному. При переходе $2H\to6H$ перемещаемые связи заметно наклоняются по сравнению с исходным положением, что позволяет уменьшить сжатие связей SiC в плоскости (11$\bar2$0). Переход $3C\to6H$ осуществляется посредством образования вспомогательных связей Si–Si и С–С, живущих короткое время и помогающих плотноупакованным слоям поменяться местами. В результате активационный барьер превращения $2H\to6H$ (1.7 eV/atom) существенно меньше активационного барьера превращения $3C\to6H$ (3.6 eV/atom), что означает, что второй переход должен протекать при температурах на 750–800$^\circ$C выше, чем первый. Рассчитаны энергетические профили данных политипных превращений, а также геометрии всех промежуточных и переходных фаз. Показано, что все переходные состояния имеют моноклинную симметрию.

Ключевые слова: фазовые переходы, политипы, карбид кремния, метод упругих лент, метод функционала плотности.

Поступила в редакцию: 10.04.2019
Исправленный вариант: 11.04.2019
Принята в печать: 11.04.2019

DOI: 10.21883/FTT.2019.08.47967.452


 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2019, 61:8, 1389–1393

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024