Полупроводники
Пути политипных превращений в карбиде кремния
С. А. Кукушкинabc,
А. В. Осиповb a Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
c Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Аннотация:
Методами
ab initio изучены два основных политипных превращения в карбиде кремния, а именно,
$2H\to6H$ и
$3C\to6H$. Показано, что промежуточные фазы с тригональной симметрией
$P3m1$ и моноклинной симметрией
$Cm$ сильно облегчают перемещения плотноупакованных слоев при таких переходах, разбивая их на отдельные стадии. Обнаружено, что два данных политипных превращения протекают совершенно по-разному. При переходе
$2H\to6H$ перемещаемые связи заметно наклоняются по сравнению с исходным положением, что позволяет уменьшить сжатие связей SiC в плоскости (11
$\bar2$0). Переход
$3C\to6H$ осуществляется посредством образования вспомогательных связей Si–Si и С–С, живущих короткое время и помогающих плотноупакованным слоям поменяться местами. В результате активационный барьер превращения
$2H\to6H$ (1.7 eV/atom) существенно меньше активационного барьера превращения
$3C\to6H$ (3.6 eV/atom), что означает, что второй переход должен протекать при температурах на 750–800
$^\circ$C выше, чем первый. Рассчитаны энергетические профили данных политипных превращений, а также геометрии всех промежуточных и переходных фаз. Показано, что все переходные состояния имеют моноклинную симметрию.
Ключевые слова:
фазовые переходы, политипы, карбид кремния, метод упругих лент, метод функционала плотности. Поступила в редакцию: 10.04.2019
Исправленный вариант: 11.04.2019
Принята в печать: 11.04.2019
DOI:
10.21883/FTT.2019.08.47967.452