Ловушки в нанокомпозитном слое кремний-диоксид кремния и их влияние на люминесцентные свойства

Исследованы ловушки носителей заряда в термических пленках диоксида кремния и диоксиде кремния с нанокомпозитным слоем, состоящим из оксида кремния и нанокристаллитов кремния, методами кельвин-зонд микроскопии и катодолюминесценции. На основании экспериментальных исследований установлено присутствие в образцах ловушек электронов и дырок. Продемонстрированно влияние зарядового состояния ловушек электронов на люминесцентные свойства пленок. Показано, что количество ловушек в нанокомпозитных слоях больше, чем в термических окислах, однако их энергии активации близки по своим значениям. Это говорит о том, что природа ловушек в таких слоях одинакова.