Изменение элементного состава тонких пленок цирконата-титаната свинца в процессе ионно-плазменного осаждения: эксперимент и моделирование

Экспериментально исследовано изменение элементного состава тонких пленок PZT, полученных методом ВЧ магнетронного распыления при вариации давления рабочего газа. Интерпретация полученных экспериментальных результатов проведена на основе статистического моделирования процессов термализации и диффузии потоков распыленных атомов Pb, Zr и Ti при ионно-плазменном осаждении тонких пленок PZT. Показано, что результаты моделирования достаточно корректно (в пределах 5%) описывают изменение элементного состава при различных значениях давления газовой среды. Проведенные исследования позволяют получать тонкие пленки PZT с заданным элементным составом, что важно для оптимизации электрофизических свойств твердых растворов, относящихся к области морфотропной фазовой границы.