RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 2019, том 61, выпуск 3, страницы 594–597 (Mi ftt8901)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Физика поверхности, тонкие пленки

Диэлектрические параметры упруго напряженных, гетероэпитаксиальных пленок SrTiO$_{3}$

Ю. А. Бойков, В. А. Данилов

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Методом лазерного испарения на монокристаллических подложках (001)La$_{0.29}$Sr$_{0.71}$Al$_{0.65}$Ta$_{0.35}$O$_{3}$ выращены трехслойные эпитаксиальные гетероструктуры SrRuO$_{3}$/SrTiO$_{3}$/SrRuO$_{3}$ с толщиной промежуточного слоя титаната стронция 900 nm. Фотолитография и ионное травление были использованы для формирования на базе выращенных гетероструктур плоскопараллельных пленочных конденсаторов, для которых измерены температурные зависимости тангенса угла диэлектрических потерь при различном напряжении смещения, поданном на электроды из рутената стронция. Визуализированы температурные зависимости диэлектрической проницаемости промежуточного слоя SrTiO$_{3}$ в сформированных конденсаторных структурах при компенсации внутреннего электрического поля и без неe. Проведен анализ причин резкого увеличения диэлектрических потерь в сформированных пленочных конденсаторах при температурах ниже 50 K.

Поступила в редакцию: 29.10.2018

DOI: 10.21883/FTT.2019.03.47256.296


 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2019, 61:3, 464–467

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024