Структурные и магнитные характеристики однослойных и многослойных наногранулированных пленок Co–Al$_{2}$O$_{3}$, полученных методом твердофазного синтеза

Представлены результаты структурных и магнитных исследований наногранулированных пленок Co–Al$_{2}$O$_{3}$, формирующихся из тонкопленочных слоистых Co$_{3}$O$_{4}$/Al структур в процессе вакуумного отжига. Пленки Co$_3$O$_4$/Al получены последовательным реактивным магнетронным распылением мишени металлического кобальта в среде, состоящей из смеси газов Ar+O$_{2}$ и магнетронным распылением алюминиевой мишени в среде чистого аргона. Показано, что такой подход позволяет получать тонкие однослойные и многослойные наногранулированные пленки Co–Al$_{2}$O$_{3}$ с хорошо контролируемым размером магнитных гранул и их распределением по толщине пленки.