Влияние материала подложки на структуру и электрофизические свойства тонких пленок Ba$_{x}$Sr$_{1-x}$TiO$_{3}$

Методом высокочастотного распыления получены тонкие пленки Ba$_{x}$Sr$_{1-x}$TiO$_{3}$ на (111)Pt/(100)Si и SiO$_{x}$/(100)Si подложках. Установлено, что синтезированные пленки однофазны, обладают поликристаллической структурой. Показано, что подслой платины оказывает влияние на значения шероховатости, средний размер зерен и величину локальной поляризации в тонких пленках Ba$_{x}$Sr$_{1-x}$TiO$_{3}$. Обсуждаются возможные механизмы полученных результатов, связанных с проводимостью межзеренных границ и природой взаимодействия сегнетоэлектрической пленки с подложкой.