Определение стационарного тока утечки в структурах с пленками сегнетоэлектрической керамики

Исследованы стационарные токи утечки конденсаторных структур с сегнетоэлектрическими золь-гель пленками цирконата-титаната свинца (PZT), сформированными на кремниевых подложках с нижним Pt электродом. Установлено, что независимо от толщины пленки PZT структуры Pt/PZT/Hg характеризуются наличием выпрямляющего контакта, подобного $p$–$n$-переходу. Стационарный ток утечки в проводящем направлении увеличивается с уменьшением толщины пленки и определяется проводимостью объема сегнетоэлектрика.