Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия пленок стабилизированного диоксида циркония со встроенными наночастицами Au, сформированными в процессе облучения ионами золота

Наноразмерные пленки стабилизированного диоксида циркония с наночастицами Au, сформированными имплантацией ионов Au, исследованы методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и просвечивающей электронной микроскопии. Исследовано влияние облучения пленок ионами Au и постимплантационного отжига на распределение в них по глубине химических элементов и цирконийсодержащих соединений ZrO$_{x}$. На основе данных о размерном сдвиге фотоэлектронной линии Au 4$f$ определено среднее значение диаметра наночастиц.