Аннотация:
Исследованы структурные свойства однослойных и двухслойных гетероструктур на основе пленок титаната бария-стронция различного состава, осаженных по механизму Франка–Ван дер Мерве на подложку оксида магния. Гетероструктуры созданы ВЧ-распылением стехиометрических керамических мишеней в распылительной системе “Плазма 50 СЭ”. Принципиальное отличие данного способа осаждения от известных аналогов состоит в том, что рост монокристаллических пленок происходит из дисперсной фазы оксида, образующейся в плазме сильноточного высокочастотного разряда при распылении керамической мишени на кластерном уровне. Установлены особенности проявления сегнетоэлектрического состояния в двухслойных гетероструктурах при изменении порядка следования пленок с различным составом титаната бария-стронция.
Поступила в редакцию: 07.05.2017 Исправленный вариант: 21.06.2017