Д. В. Мастеров, С. А. Павлов, А. Е. Парафин, “Новый подход к формированию топологии планарных структур на основе высокотемпературного сверхпроводника YBCO”, Физика твердого тела, 2017, том 59, выпуск 11,страницы 2113

Эта публикация цитируется в 3 статьях

XX Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Н. Новгород, 13-16 марта 2017 г.
Сверхпроводимость

Новый подход к формированию топологии планарных структур на основе высокотемпературного сверхпроводника YBCO

Д. В. Мастеров, С. А. Павлов, А. Е. Парафин

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Представлена новая технология формирования планарных сверхпроводниковых структур на основе пленок YBCO с металлическими контактами, полностью исключающая процессы травления. Нужная топология сверхпроводящих элементов из пленки YBCO создается предложенным методом “задающей маски”. Омические контакты к сверхпроводящей структуре изготавливаются методом взрывной фотолитографии. Для исследования возможностей данной технологии были проведены измерения сверхпроводящих мостиков шириной 3, 10 и 50 $\mu$m и тестовых структур для измерения контактного сопротивления.

DOI: 10.21883/FTT.2017.11.45046.05k