Аннотация:
С целью повышения концентрации электрически-активного Mn в слоях полупроводников A$^{3}$B$^{5}$ : Mn выполнены эксперименты по лазерному отжигу. Использован эксимерный лазер LPX-200 на KrF с длиной волны 248 nm и длительностью импульса $\sim$30 ns. Экспериментально показано, что при энергии импульса эксимерного лазера $>$ 230 mJ/cm$^{2}$ концентрация дырок в слоях GaAs : Mn увеличивается до 3 $\cdot$ 10$^{20}$ cm$^{-3}$. Отрицательное магнетосопротивление и аномальный эффект Холла с петлей гистерезиса для отожженных образцов GaAs : Mn сохраняются вплоть до 80–100 K. Аналогичные изменения в результате лазерного отжига наблюдаются и для слоев InAs : Mn.