Применение метода спектральной эллипсометрии для характеризации наноразмерных пленок с ферромагнитными слоями

Наноструктурированные пленки с ферромагнитными слоями широко используются в наноэлектронике, сенсорных системах и телекоммуникации. Свойства нанопленок могут существенно отличаться от объемных материалов, что обусловлено влиянием интерфейсов, промежуточных слоев и диффузии. В данной работе развиваются методы спектральной эллипсометрии и магнитооптики для исследования оптических параметров и процессов намагничивания для двух- и трехслойных пленок типа Cr/NiFe, Al/NiFe, Сr(Al)/Ge/NiFe на ситалловой подложке для различных толщин слоев Cr и Al. При толщине слоя меньше 20 nm имеется существенная зависимость комплексных коэффициентов преломления от толщины. Процессы перемагничивания двухслойных пленок слабо зависят от толщины верхнего слоя, однако значение коэрцитивности при перемагничивании трехслойных пленок может увеличиться более, чем в два раза, при увеличении толщины верхнего слоя с 4 до 20 nm.