RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 2017, том 59, выпуск 1, страницы 144–148 (Mi ftt9721)

Эта публикация цитируется в 12 статьях

Фазовые переходы

Кинетика электронно-лучевой кристаллизации аморфных пленок ZrO$_{2}$, полученных ионно-плазменным и лазерным напылением

А. Г. Багмутa, В. М. Бересневb

a Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт"
b Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина

Аннотация: Проведено сопоставление структуры и кинетики электронно-лучевой кристаллизации аморфных пленок ZrO$_{2}$, полученных с помощью ионно-плазменного и лазерного напыления. Исследования выполнены методами электронографии и просвечивающей электронной микроскопии со съемками видео-фильмов in situ. Воздействие на аморфную пленку электронного луча в вакууме сопровождается образованием микрокристаллов диоксида циркония с решеткой ГЦК. При лазерном испарении плотность центров кристаллизации $\beta\sim$ 10$^{9}$ cm$^{-2}$, а характерная единица длины $D_{0}\sim$ 0.48 $\mu$m. При ионно-плазменном испарении $\beta\sim$ 10$^{10}$ cm$^{-2}$, а $D_{0}\sim$ 0.06 $\mu$m. Анализ кинетических кривых кристаллизации аморфных пленок проведен на основе $\beta$-варианта модели Колмогорова.

Поступила в редакцию: 18.05.2016

DOI: 10.21883/FTT.2017.01.43965.195


 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2017, 59:1, 151–155

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024