А. Г. Канарейкин, Е. Ю. Каптелов, С. В. Сенкевич, И. П. Пронин, А. Ю. Сергиенко, О. Н. Сергеева, “Влияние высокотемпературного отжига на ориентацию вектора униполярности в тонких пленках цирконата-титаната свинца”, Физика твердого тела, 2016, том 58, выпуск 11,страницы 2242

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Сегнетоэлектричество

Влияние высокотемпературного отжига на ориентацию вектора униполярности в тонких пленках цирконата-титаната свинца

А. Г. Канарейкин^a, Е. Ю. Каптелов^a, С. В. Сенкевич^a, И. П. Пронин^a, А. Ю. Сергиенко^b, О. Н. Сергеева^cd

^a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^b Филиал ФГБНУ "Институт управления образованием РАО", г. Санкт-Петербург
^c Тверской государственный университет
^d МИРЭА — Российский технологический университет, г. Москва

Аннотация: Рассматриваются причины изменения ориентации вектора естественной униполярности в результате нагревания до температуры Кюри тонкопленочного конденсатора Pt/PZT/Pt (PZT – цирконат-титанат свинца), сформированного на подложке TiO$_{2}$/SiO$_{2}$/Si. Тонкие слои PZT, содержащие незначительный избыток оксида свинца, сформированы ex situ методом высокочастотного магнетронного распыления при вариации температуры отжига (кристаллизации фазы перовскита) в диапазоне 580–650$^\circ$C. Предполагается, что реориентация вектора униполярности в слое PZT вызвана сменой механизма кристаллизации фазы перовскита с ростом температуры отжига.

Поступила в редакцию: 11.05.2016