А. М. Алексеев, Р. Р. Исмагилов, Е. Е. Ашкинази, А. С. Орехов, С. А. Малыхин, А. Н. Образцов, “Квазидвумерные кристаллы алмаза: осаждение из газовой фазы и структурно-морфологические свойства”, Физика твердого тела, 2016, том 58, выпуск 7,страницы 1408

Физика поверхности, тонкие пленки

Квазидвумерные кристаллы алмаза: осаждение из газовой фазы и структурно-морфологические свойства

А. М. Алексеев^ab, Р. Р. Исмагилов^ab, Е. Е. Ашкинази^b, А. С. Орехов^ac, С. А. Малыхин^a, А. Н. Образцов^a

^a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
^b Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук, г. Москва
^c Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова РАН, г. Москва

Аннотация: Методом осаждения из газовой смеси метана и водорода, активированной разрядом постоянного тока, получены алмазные пленки, преимущественно состоящие из плоских кристаллитов микрометрового размера толщиной в несколько десятков нанометров. Структура кристаллитов исследована методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии и дифракции. Обсуждается возможный механизм формирования кристаллитов плоской формы в ходе процесса осаждения алмаза из газовой фазы. Показано, что полученные результаты находятся в согласии с теоретическими представлениями о формировании кристаллов с гранецентрированной кубической решеткой.

Поступила в редакцию: 11.01.2016