Межатомные взаимодействия на интерфейсах многослойных наноструктур (Co$_{45}$Fe$_{45}$Zr$_{10}$/a-Si)$_{40}$ и (Co$_{45}$Fe$_{45}$Zr$_{10}$/SiO$_{2}$)$_{32}$
Аннотация:
Исследованы межатомное взаимодействие и фазообразования на интерфейсах между металлическими слоями Co$_{45}$Fe$_{45}$Zr$_{10}$ и неметаллическими прослойками из аморфного кремния или диоксида кремния в многослойных наноструктурах (МНС) (Co$_{45}$Fe$_{45}$Zr$_{10}$/$a$-Si)$_{40}$ и (Co$_{45}$Fe$_{45}$Zr$_{10}$/Si$_{2}$)$_{32}$ методами ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии (УМРЭС) и дифрактометрии. МНС были получены с помощью ионно-лучевого напыления из двух мишеней на поверхность вращающейся ситалловой подложки.
Исследования показывают, что независимо от ожидаемого состава прослойки (аморфный кремний или диоксид кремния), на интерфейсах металлический слой/прослойка образуются силициды $d$-металлов, преимущественно низших силицидов кобальта. Однако при этом толщина силицидных интерфейсов в МНС с оксидными прослойками (серия O) оказывается существенно меньшей и составляет $\sim$0.1 nm, и поэтому центральный слой прослоек остается оксидным.
В МНС с прослойками из аморфного кремния практически весь кремний расходуется на образование немагнитных силицидных фаз. И когда толщина такой прослойки превосходит толщину металлического слоя, МНС становятся немагнитными.
Поступила в редакцию: 23.06.2015 Исправленный вариант: 28.10.2015