Аннотация:
Проведено сравнительное исследование качественных свойств двумерной и трехмерной математических моделей диффузии частиц (неравновесных неосновных носителей заряда, экситонов), генерируемых остро сфокусированным электронным зондом в однородном полупроводниковом материале. Показано, что рассматриваемые математические модели являются математически корректными и могут быть применены для оценки электрофизических параметров однородных полупроводниковых мишеней по результатам экспериментальных измерений.
Ключевые слова:математическая модель, дифференциальное уравнение, частная производная, задача Коши, электронный зонд, полупроводник, корректность, единственность, непрерывная зависимость от данных, идентификация.
Полный текст:
PDF файл (169 kB)