О корректности одной модельной задачи тепломассопереноса в однородных полупроводниковых мишенях

На основе методов качественной теории дифференциальных уравнений проведено исследование корректности математической модели одномерной диффузии неравновесных носителей заряда, генерированных электронным пучком, доказана непрерывная зависимость решения от входных данных, получены оценки влияния погрешностей исходных данных на распределение диффундирующей примеси. Полученные результаты могут быть использованы при планировании эксперимента в электроннозондовых технологиях.