Структурная диагностика поверхностей с использованием вейвлетов

В данной работе представлена методика структурной диагностики поверхностей с развитым рельефом, основанная на использовании корреляционного и вейвлет анализов. Рассмотрены 4 образца, полученные методом ионной имплантации ионов кобальта Co$^+$ в приповерхностный слой кремния при различных дозах облучения. К ним применена разработанная методика. На основе полученных результатов сделаны выводы о регулярности характерных структур для каждого образца.