Аннотация:
Рассчитаны времена релаксации за счет электрон-фононного взаимодействия в кремнии и оксиде кремния. Времена релаксации включают в себя упругое рассеяние на акустических фононах и неупругое рассеяние на оптических фононах. Для сравнения с уже имеющимися результатами зависимость частоты рассеяния от энергии получена как в приближении параболической зоны, так и с использованием данных о плотности электронных состояний в зоне проводимости. Частоты рассеяния на заряженных примесях (в сильно легированном кремнии) получены в приближении Конвелл–Вайскопфа.
Ключевые слова:
групповая скорость, плотность электронных состояний, акустические и оптические фононы, частота электрон-фононного рассеяния.