Аннотация:
В работе изучается квазистационарная математическая модель процесса выращивания монокристаллов методом Чохральского с жидкостной герметизацией расплава, учитывающая теплоперенос в кристалле, расплаве и флюсе, теплообмен излучением между нагревателем и содержимым тигля, формирование фронта кристаллизации и выделение теплоты на нем, образование мениска на границе расплав/флюс. В рамках квазистационарного приближения процесс кристаллизации рассматривается как серия стационарных состояний, однозначно определяющихся внешним температурным режимом, скоростью протяжки и объемом расплава. Для решения задачи с внутренними подвижными границами применен метод выпрямления фронта. Численно изучено влияние скорости протяжки и температуры нагревателя на радиус выращенного кристалла.
Ключевые слова:фазовый переход, численное моделирование роста кристаллов, метод Чохральского с жидкостной герметизацией расплава.