RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Препринты Института прикладной математики им. М. В. Келдыша РАН // Архив

Препринты ИПМ им. М. В. Келдыша, 2023, 059, 20 стр. (Mi ipmp3191)

Численное моделирование процесса выращивания монокристаллов методом Чохральского в квазистационарном приближении

А. О. Гусев, О. С. Мажорова


Аннотация: В работе изучается квазистационарная математическая модель процесса выращивания монокристаллов методом Чохральского с жидкостной герметизацией расплава, учитывающая теплоперенос в кристалле, расплаве и флюсе, теплообмен излучением между нагревателем и содержимым тигля, формирование фронта кристаллизации и выделение теплоты на нем, образование мениска на границе расплав/флюс. В рамках квазистационарного приближения процесс кристаллизации рассматривается как серия стационарных состояний, однозначно определяющихся внешним температурным режимом, скоростью протяжки и объемом расплава. Для решения задачи с внутренними подвижными границами применен метод выпрямления фронта. Численно изучено влияние скорости протяжки и температуры нагревателя на радиус выращенного кристалла.

Ключевые слова: фазовый переход, численное моделирование роста кристаллов, метод Чохральского с жидкостной герметизацией расплава.

DOI: 10.20948/prepr-2023-59



© МИАН, 2024