Аннотация:
В работе предложен практически безусловно устойчивый метод численного решения задач массопереноса c граничными условиями специального вида. Разработанный алгоритм был использован для численного исследования процесса эпитаксиального выращивания многокомпонентных полупроводниковых соединений и продемонстрировал высокую точность и надежность в широком диапазоне параметров.